等离子体指部分或完全电离的气体,且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消,宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广 泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的*四态。 低温等离子体的电离率较低,电子温度远**离子温度,离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体,低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子,比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强,更易于和所接触的材料表面发生反映,天津等离子处理设备,因此它们被用来对材料表面进行改性处理。 与传统的方法相比,等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显 着的优点,同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广 泛运用于金属,天津等离子处理设备、微电子、聚合物,天津等离子处理设备、生物功能材料、低温灭 菌及污染治理等多种领域。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的*四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有*四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。 在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的.
GY-QX系列等离子清洗机定位于工业生产型低温等离子体处理设备,广泛应用于电子、太阳能、汽车、纺织、包装印刷、生物医疗及通用行业,其特点为处理效率高、重复性和稳定性良好,操作方便,工艺参数多样性,执行多样化任务,适用于清洗、活化、提高粘结力、附着力及刻蚀等工艺,并可根据客户不同需求量身定制专业、高 效、稳定的解决方案,**契合企业和公司的中大型生产需求。 等离子清洗机由反应腔(又称真空腔)、真空系统、放电系统、电控系统、进气流量控制系统组成。 反应腔由真空室和电极组成,是等离子体反应空间,待处理物品置于反应腔内;真空系统由真空计、真空泵以及真空管路组成,负责将反应腔内的空气抽净并在工作时维持适当的真空度;放电系统为反应腔提供信号和能量,以激发反应腔内的反应气体电离形成所需要的等离子体;电控系统的作用是按照比较好的工艺参数和步骤控制设备的动作过程,并维持工艺参数的稳定;进气流量控制系统主要由质量流量计和电磁阀门组成,其作用是精确控制反应气体的进气流量,并维持工作期间所需要的真空度。